11:00 〜 11:15 [20a-D102-8] 三端子変位電流評価法によるペンタセントランジスタの劣化機構解析:トラップ形成速度定数の評価 〇田中 有弥1,2、山本 紘平2、野口 裕4、石井 久夫1,2,3 (1.千葉大先進、2.千葉大院融合、3.千葉大MCRC、4.明大理工)