15:15 〜 15:30 [19p-C204-7] フルオロカーボン(Cx Fy+)イオンによるSiO2およびSiエッチング反応 〇唐橋 一浩1、李 虎1、伊藤 智子1、浜口 智志1 (1.阪大院工)