16:00 〜 18:00 [18p-P14-8] 界面顕微光応答法によるNi/SiN/n-SiC MIS構造の2次元評価 〇橋爪 孝典1、佐藤 勝2、武山 真弓2、塩島 謙次1 (1.福井大院工、2.北見工大)