09:30 〜 09:45 [17a-B203-1] Si上GaInAs/InP p-i-n薄膜光検出器の20 Gbps動作 〇顧 之チン1、井上 大輔1、鄭 叙1、雨宮 智宏1,2、西山 伸彦1,2、荒井 滋久1,2 (1.東工大電電、2.東工大未来研)