09:30 〜 09:45 [20a-C204-3] プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングによるC軸配向窒化アルミニウム薄膜の形成 〇竹中 弘祐1、吉谷 友希1、内田 儀一郎1、節原 裕一1 (1.阪大接合研)