15:45 〜 16:00 △ [18p-E202-9] 高温アニールで生じるスパッタAlNの反り制御 〇林 侑介1、谷川 健太朗1、正直 花奈子2、三宅 秀人1,2 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大院工)