11:00 〜 11:15 [19a-D101-7] 2段階製膜を用いたFTS法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜 Faris Akira Bin Mohd Zulkifly1、白取 優大1、中田 和吉1、〇宮島 晋介1 (1.東工大工)