12:00 〜 12:15 △ [20a-C204-12] レーザー援用スパッタリングによるZnOナノ粒子の生成 〇若木 航1、三瓶 明希夫1、蓮池 紀幸1、鴨居 督2 (1.京工繊大、2.京都府中小企業技術センター)