■真空機器の実機展示およびMBE、スパッタ、ALD装置等のパネル展示

TBD

■原子層堆積装置（ALD、基板用と粉体用） ■Auプリカーサー

1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置　2. 真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等） 3. 複合型PLD /MBE蒸着装置 4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

■各種レーザー ■AOMとドライバー ■低価格、高品質な各種光学部品 ■世界最高峰のステージ他ピエゾステージ ■光硬化樹脂パーキット　他

■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。

■MEMS加速度センサ ■受託加工サービス ■ナノインプリント用モールド等

■3次元形状シミュレータ「Paradise World-2」 ■MEMSシミュレーションツール「MEMSpice」

■MBE装置、MOCVD装置、小型電気管状炉、アニール装置、VCSEL用酸化装置、各種Kセル

■化合物結晶及び各種消耗品

■APEX, JJAP見本誌等

■ターボ分子ポンプ ■ドライ真空ポンプ

TBD

■顕微分光膜厚計 OPTMシリーズ

■光学単結晶、波長変換素子、波長変換器、3波長レーザ、CW266nm DUVレーザ、スペックルコントラスト

TBD

■600MHzロックインアンプ、パルスジェネレータ

■オーシャンオプティクス社　小型分光器、光源、光学部品 ■ラブスフェア社　積分球、標準反射 ■NN-Labs社　量子ドット ■Doric Lens社　LED光源

TBD