■X線回折装置 ■X線管球

■超精密研磨装置　MA-200e ■精密ブレード切断機　MPC-200e ■ダイヤモンドワイヤーソー　CS-203

■真空カメラ、真空内視鏡、石定盤、アルミニウム合金ICFフランジ

■PL測定装置

■マルチスペクトル・エリプソメーター ■精密切断小型ダイヤモンドワイヤーソー ■オスミウムコータ ■カーボンコータ ■プラズマエッチング・クリーニング装置

■TaCコート品、PBNヒータ、PBN静電チャック、PBNルツボ、BNパウダー、焼結BN、HOPG

■「ナノテクノロジープラットフォーム」は、文部科学省の委託に拠り最先端の研究設備を広く一般の研究者・技術者の方々へ利用して頂く事業です。テクノロジー分野の更なる発展に寄与することを目的に、全国26ヶ所の大学・研究機関が一体となって、三つの技術領域（微細構造解析、微細加工、分子・物質合成）に於いて、最先端設備と共に高度な技術支援を提供します。これらの概要と利用事例をご説明し、利用相談にも応じます。