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■研究・開発用小型ALD装置「SAL1000デスクトップALD装置」
■ALD装置 ■スパッタ装置 ■CVD装置 ■リチウム蒸着装置 ■UHVゲートバルブ ■HVアングルバルブ ■真空コンポーネント
TBD
■光学・照明設計ソフトウェア OpticStudio ■光学メカ設計者向け SOLIDWORKS アドインソフトウェア LensMechanix
■弊社取扱い製品 SENTECH社(ドイツ): 分光エリプソメータ、エリプソメータ InSitu モデル、ALD原子層堆積装置
■真空ポンプ、真空計、コンポーネント製品及び、グローブボックス、アーク溶解炉などの真空装置製品をご紹介致します。
■ピコアンメーター■酸素モニター
■スパッタリングターゲット ■蒸着材 ■貴金属化合物 ■貴金属コロイド ■白金系るつぼ
■500 kHz, 5MHz, 50MHz, 600MHz Lock-in Amplifier ■Impedance Amplifier ■UHF-AWG Arbitrary Waveform Generator
■ポータブルOCTシステム ■小型レーザーラマンシステム ■体積位相ホログラフィックグレーティング
■YAGレーザー薄膜加工システム ■ワイヤーボンダー ■ダイボンダー ■電気計測関連装置および部品 ■小型真空蒸着装置 ■各種特注装置
■関連書籍 ■分子模型
■Books, Journals
■モジュール式真空薄膜成膜システム、RFアトムソース、電子ビーム蒸着源、サーマルガスクラッカー、ナノクラスターソース、有機蒸着源など。
■超音波モータ ■ケージシステム ■スカラロボット ■ボイスコイルモータ ■中空モータ ■光学式エンコーダ
■UHV Design社:マニピュレータ、トランスファーロッド、Zステージー、回転導入機、ウォーブルスティック ■Prevac社:イオン銃、電子銃、X線源、UV光源、Ambient Pressure XPS/UPS システム ■Lumeras社:テーブルトップ型11ev真空紫外パルスレーザーシステム
TBD
■新方式光造形3Dプリンター「RECILS」
■受託分析サービス(3次元アトムプローブ分析、非破壊観察など)
In2O3ベースの透明導電膜用ターゲットを展示します. 1)赤外高透過で低抵抗 2)100℃の低温結晶化可能な低抵抗