[17a-B301-1~12] 15.1 バルク結晶成長

[17a-B301-9] RF-TSSG法によるSiC結晶成長時の移動現象の3次元解析

〇岡野 泰則¹、ワン ライ¹、堀内 鷹之¹、関本 敦¹、宇治原 徹² (1.阪大院基礎工、2.名大院工)

キーワード：数値解析、移動現象、シリコンカーバイド

高周波加熱TSSG法によるSiC結晶成長時の移動現象に関する3次元解析を行った。溶液内ではマランゴニ対流による非定常性が出現し、るつぼ、結晶ともに静止しているにも関わらず中心軸周りに回転するHydrothermal waveが発生するなど三次元性が発現した。。