[17a-C202-1~7] 17.2 グラフェン

[17a-C202-4] SiC熱分解Ar雰囲気へのC₂H₄微量添加による新界面層の形成
～大面積グラフェンの剥離・転写応用～

〇梶原 隆司¹、香月 博彰¹、佐藤 渉¹、ビシコフスキー アントン¹、白澤 徹郎³、飯盛 拓嗣²、小森 文夫²、田中 悟¹ (1.九大院工、2.東大物性研、3.産総研)

キーワード：グラフェン、剥離、SiC