[17a-F202-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[17a-F202-2] XANAM元素マップ取得法の改善の検討

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：非接触原子間力顕微鏡、放射光X線、元素分析

表面／界面のナノ構造を個々に識別しながら、元素・化学状態を特定する手法として「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。元素像取得方法について、原理的確認や力成分分析に用いたフォーススペクトルによる方法よりも、迅速かつ簡便に行える方法を検討した。Niナノ粒子をHOPGに蒸着した試料で検証したところ、X線による微細な変調を捉えられれば、十分に測定に改良が行えることを見いだせた。