[17a-F202-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[17a-F202-8] NAP-HARPESによる多層積層薄膜界面のオペランド深さ方向分布解析の可能性

〇豊田 智史¹、梶野 雄太²、山本 知樹²、首藤 大器³、野瀬 惣市³、水野 勇³、住田 弘祐⁴、三根生 晋⁴、町田 雅武⁵、横山 和司² (1.京都大学、2.兵庫県大、3.SP8サービス、4.マツダ、5.シエンタオミクロン)

キーワード：近大気圧下硬X線角度分解光電子分光、多層積層薄膜界面、オペランド深さ方向分布解析

近年、光電子分光機器の高度化により試料の位置を変えることなく、広出射角度にわたるデータを一括で取得できるようになり、さらに、作動排気システムにより大気圧に近い条件下(NAP)での角度分解光電子分光(ARPES)計測が可能になってきた。我々は、HAXPESを用いて検出深さを深くしてNAP計測を可能にするNAP-HAXPES装置を開発するとともに、短時間で取得したHARPESデータでも多層積層薄膜界面の深さ方向分布を抽出できる手法を開発した。NAP-HARPESにより、多層積層薄膜に埋もれた界面における深さ方向分布のオペランド計測・解析も視野に入ってきたため、その実現可能性について議論する。