[17a-F310-1~11] 13.9 化合物太陽電池

[17a-F310-11] マグネトロンスパッタを用いた薄膜CuGaS₂の作製

〇(M1)松林 宏弥¹、アーサン ナズムル²、金 明玉³、岡田 至崇^1,2 (1.東大院工、2.東大先端研、3.東大教養)

キーワード：カルコパイライト系半導体、太陽電池、マグネトロンスパッタリング

カルコパイライト系材料は光吸収係数が高く，単結晶シリコンと比べ薄膜に太陽電池を作ることができる．一方，単接合型太陽電池の理論変換効率を上回る新規構造として多接合型や中間バンド型太陽電池が大きな注目を浴びている．そこで，我々は同じカルコパイライト半導体をベースとした次世代型太陽電池を目指し，その母体となりうるワイドギャップを持つCuGaS₂薄膜をガラス基板上にスパッタ成膜し，その結晶性を評価した．