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[17p-B303-7] 有機EOポリマーを用いた光フェーズドアレイの試作
キーワード:電気光学ポリマー、光変調、光偏向
光フェーズドアレイは、光位相変調器をアレイ状に配置した素子であり、出射光ビームの形状と方向を制御できることから、空間光通信や立体映像再生、LiDARなどへの応用が期待されている。我々は、高速で高偏向角の光偏向素子の実現を目的に、有機EOポリマー光位相変調器を用いた光フェーズドアレイの開発を行っている。本講演では、有機EOポリマー光位相変調器アレイの作製プロセスを中心に報告する。