[17p-C102-1~12] 多元化合物の新規な物性と応用

[17p-C102-1] 六方晶BNの薄膜成長とその深紫外発光評価

〇原 和彦^1,2、梅原 直己¹、小島 一信³、秩父 重英³ (1.静大創造院、2.静大電子研、3.東北大多元研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法、発光