[17p-C103-1~13] 6.4 薄膜新材料

[17p-C103-2] [6. 薄膜・表面　分科内招待講演] 機能性薄膜の汎用的微細化プロセスとデバイス開発

〇原田 尚之¹、Woltmann Carsten²、Wittlich Pascal²、Mannhart Jochen²、塚﨑 敦¹ (1.東北大金研、2.マックスプランク研)

キーワード：薄膜、デバイス、酸化物