[17p-C103-1~13] 6.4 Thin films and New materials

△ [17p-C103-8] Fabrication of ZrH₂ thin films using hydrogen-radical assisted pulsed-laser deposition

〇Akito Nishi¹, Kohei Yoshimatsu¹, Akira Ohtomo^1,2 (1.Tokyo Tech., 2.MCES.)

Keywords:zirconium hydride, hydrogen-radical, PLD

近年発見された高温超伝導やヒドリド伝導に継ぐ，金属水素化物のさらなる展開が期待されている．金属水素化物の物性研究はこれまでバルクを対象とし，薄膜については数例しかない．これまで我々は反応活性の高い水素ラジカルを用いたパルスレーザ堆積法により，単相のTiH₂薄膜作製を報告してきた．本研究ではチタンと同じⅣ族のジルコニウム水素化物（ZrH₂）に着目し，その薄膜を作製したので報告する．