[17p-C103-1~13] 6.4 薄膜新材料

△ [17p-C103-8] 水素ラジカル支援パルスレーザ堆積法を用いたZrH₂薄膜の作製

〇西 暁登¹、吉松 公平¹、大友 明^1,2 (1.東工大物質理工、2.元素戦略)

キーワード：ジルコニウム水素化物、水素ラジカル、PLD

近年発見された高温超伝導やヒドリド伝導に継ぐ，金属水素化物のさらなる展開が期待されている．金属水素化物の物性研究はこれまでバルクを対象とし，薄膜については数例しかない．これまで我々は反応活性の高い水素ラジカルを用いたパルスレーザ堆積法により，単相のTiH₂薄膜作製を報告してきた．本研究ではチタンと同じⅣ族のジルコニウム水素化物（ZrH₂）に着目し，その薄膜を作製したので報告する．