[17p-C201-1~19] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[17p-C201-3] マイクロプラズマ電極表面上の微粒子除去の研究

〇野中 大輔¹、クリストフ ヤロスラヴ¹、マリウス ブラジャン¹、清水 一男¹ (1.静岡大学)

キーワード：マイクロプラズマ、微粒子除去、プラズマアクチュエータ

微粒子制御は，粒子の構造・組成制御や流動制御，微粒子合成をはじめ半導体製造や室内環境でも注目されている．プラズマを用いたものでは，気相反応による微粒子生成や電気集塵などが挙げられる．本研究では，マイクロプラズマアクチュエータ型電極を用いて， 電極表面上の微粒子の除去を目的として実験的検討を行った．