[17p-C202-1~15] 17.2 Graphene

[17p-C202-1] Rad-OM observation of effect of hot filament in CVD growth of graphene

〇Takanobu Taira¹, Takuya Shinohara², Seiji Obata², Koichiro Saiki^1,2 (1.Sch. of Sci., The Univ. of Tokyo, 2.Grad. Sch. of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo)

Keywords:graphene, CVD, hot filament

大面積の単結晶グラフェンの作製を目的とした、Cu基板上のグラフェンCVDでは、グラフェン核密度の低減に加えて成長の高速化が求められている。本研究では、ホットフィラメントを用いたグラフェンCVD成長をin-situ観察し、核発生と成長速度に与える効果を評価した。結果、ホットフィラメントはグラフェンの核発生と成長の両方を促進したが、成長を加速する効果の方が高く、核密度を低く保ちながら成長を高速化できる可能性がある。