[17p-C202-1~15] 17.2 グラフェン

[17p-C202-11] CVDグラフェンをテンプレートとしたグラフェン多層成長

〇根岸 良太¹、丸岡 真人¹、小川 友以²、高村 真琴²、谷保 芳孝²、小林 慶裕¹ (1.阪大院工、2.NTT物性研)

キーワード：グラフェン、結晶成長、気相化学成長

乱層・多層グラフェンは、多層でありながら層間相互作用が弱く、各層が単層の電子構造を保持するため、高い移動度と伝導度を両立するデバイス材料として期待されている。本研究では、化学気相成長（CVD）法により合成した単層グラフェンを核として、多層グラフェンの成長を検討したので報告する。