[17p-C202-1~15] 17.2 グラフェン

[17p-C202-12] 走査型オージェ電子分光装置によるNi金属上に形成された多層グラフェンの観察と分析

〇島 政英¹、加藤 大樹¹、四本松 康太²、本間 芳和² (1.日本電子、2.東理大理)

キーワード：グラフェン、走査型オージェ電子分光装置

グラフェンの物性は層の数に依存することから、層数を決めることは重要である。今回走査型オージェ電子分光装置を用いた2次電子や反射電子のイメージングの結果においてグラフェンの層数に依存したコントラストが得られた。また、高エネルギー分解能での反射型EELS測定を行うことによってグラフェンの膜厚に依存した反射電子強度および、ロスピークの形状についての解析結果を報告する。