[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[17p-C204-16] DCバイアスしたプレートチューナーによるECRプラズマ生成効率化

〇濱田 滉太¹、渡辺 拓人¹、津田 悠登¹、大西 広司¹、竹田 樹人¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：マイクロ波