2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

2018年3月17日(土) 13:15 〜 18:30 C204 (52-204)

富田 健太郎(九大)

13:30 〜 13:45

[17p-C204-2] 発光線強度比法を用いたカスプ磁場配位ECRプラズマの電離度計測

〇(M1)上田 明1、四竈 泰一1、寺本 達哉1、東 孝紀1、飯田 洋平2、蓮尾 昌裕1 (1.京大院工、2.分光計器)

キーワード:ECRプラズマ、衝突輻射モデル、電離度

単純カスプ磁場による極小磁場配位を用いた電子サイクロトロン共鳴(ECR)放電で高い電離度が得られる可能性が指摘されている.本研究では,ヘリウムプラズマ中の電離度の空間分布を計測した.原子発光線強度の計測と衝突輻射モデル解析を用いて電子密度と基底準位の原子密度の径方向分布を求め,これらの値から電離度を評価した.電離度はECR面より内側で20 %以上まで上昇することが分かった.