[17p-C302-1~7] 分野融合で始まる欠陥研究の新時代　～学会を越えた視点から見えてくるもの～

[17p-C302-1] 無欠陥結晶の育成とその現象への不純物の影響

〇杉村 渉¹、小野 敏昭¹、宝来 正隆¹ (1.株式会社SUMCO)

キーワード：シリコン、不純物、欠陥

無欠陥結晶の育成には、シリコン中の欠陥形成挙動を理解することが重要である。報告では、育成するシリコン結晶が無欠陥となる原理を説明し、次に各種不純物を添加した結晶の欠陥評価から、特に水素添加に着目し、その影響を考察した結果について総括する。