2:45 PM - 3:00 PM
△ [17p-C303-4] Spin-capable MWCNT forest synthesis by successive CVD process in one chamber including Al2O3 supported layer, Fe catalyst nanoparticle and CNT deposition
Keywords:Carbon nanotube, Mist CVD, Dry spinning
本グループは、ミスト化学気相堆積(CVD)法を用いたAl2O3担持層、Fe触媒ナノ粒子層及びカーボンナノチューブ(CNT)の装置内連続CVDプロセスについて報告してきた。これまでの研究から、ミストCVDによって堆積したAl2O3層は触媒活性を向上させる効果を有することが示唆された。本発表では、各CVDプロセスの条件を最適化し、紡績現象を発現するCNTフォレスト合成を試みたので報告する。