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△ [17p-C303-4] Al2O3担持層, Fe触媒ナノ粒子, CNTの装置内連続CVDプロセスを用いた紡績性MWCNTフォレスト合成
キーワード:カーボンナノチューブ、ミストCVD、乾式紡績
本グループは、ミスト化学気相堆積(CVD)法を用いたAl2O3担持層、Fe触媒ナノ粒子層及びカーボンナノチューブ(CNT)の装置内連続CVDプロセスについて報告してきた。これまでの研究から、ミストCVDによって堆積したAl2O3層は触媒活性を向上させる効果を有することが示唆された。本発表では、各CVDプロセスの条件を最適化し、紡績現象を発現するCNTフォレスト合成を試みたので報告する。