[17p-D102-1~19] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [17p-D102-7] Alq₃薄膜のアモルファス構造および光物性の真空蒸着条件依存性

〇(D)江崎 有^1,2、松島 敏則^1,2,3、安達 千波矢^1,2,3 (1.九大OPERA、2.JST ERATO、3.WPI-I2CNER)

キーワード：有機半導体、真空蒸着法、不純物

代表的な発光材料であるAlq₃について、真空蒸着時の基板温度と蒸着速度によって薄膜のアモルファス構造および光物性がどのように変化するか検討を行った。その結果、薄膜構造は蒸着時の基板温度によって大きく変化し、Stable Glassの形成が示唆された。一方、無放射過程全体の速度定数が基板温度および蒸着速度に明確な依存性を示した。理由として、膜中に含まれる不純物が蒸着条件によって変化したことが考えられる。