[17p-F206-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[17p-F206-17] XPSによるY₂O₃/SiO₂界面の化学結合状態および内部電位評価

〇藤村 信幸¹、大田 晃生¹、池田 弥央¹、牧原 克典¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：XPS、ダイポール