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[17p-F306-5] イオンイメージセンサの空間分解能評価法
キーワード：イオンイメージセンサ、空間分解能
イオンイメージセンサの空間分解能は，測定対象の溶液内で微小なpH変化をµmオーダーで制御することが困難であるため測定によって評価されておらず，画素ピッチで比較されている．本研究ではイオンイメージセンサの空間分解能評価法として，フォトレジストを用いた矩形パターンによる空間分解能評価法を提案する．測定には23.55µmピッチと2.0µmピッチのセンサを使用し，それぞれ10.62lp/mm，142.86lp/mmの空間分解能であることを確認した．