[17p-F306-1~7] 12.7 医用工学・バイオチップ

[17p-F306-7] ドリフト抑制のための開口キャビティ構造をもつ エラストマー型光干渉バイオセンサ

〇寺元 玲奈¹、丸山 智史¹、高橋 功²、武岡 真司²、藤枝 俊宣^2,3、澤田 和明¹、高橋 一浩^1,3 (1.豊橋技科大、2.早稲田大、3.JSTさきがけ)

キーワード：バイオセンサ、MEMS

本研究では、エラストマー材料を用いた密閉キャビティ型の光干渉型表面応力センサにおけるガス漏れによる膜ドリフト改善のため、キャビティ内圧力を大気圧に保つ開口構造を有するセンサを提案する。貫通孔を形成した基板上にSU-8でスペーサーを形成し、膜厚630nmのエラストマー薄膜を転写し作製した。その結果、溶液測定での膜ドリフトが改善し、分子吸着による膜の変形率は従来のパリレンＣを使用したセンサより2桁程度向上した。