[17p-G201-1~14] SP1 クラウドとIoTエッジの相乗作用によるスマート社会へのロードマップ ～コンピュータサイエンスと半導体物理の複眼視点からの未来予測～

▲ [17p-G201-11] ESH/FI challenges to support manufacturing next generation devices

〇Supika Mashiro¹ (1.Tokyo Electron)

キーワード：SDRJ