[17p-G201-1~14] SP1 クラウドとIoTエッジの相乗作用によるスマート社会へのロードマップ ～コンピュータサイエンスと半導体物理の複眼視点からの未来予測～

▲ [17p-G201-12] Metrology requirements and potential solutions for next generation Devices

〇Koichi Sejima¹ (1.Sony Semiconductor Solutions Corporation)

キーワード：SDRJ