[17p-P1-1~12] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17p-P1-7] テクスチャ構造SiC 薄膜の光学特性の表面粗さ依存性

〇河村 優樹¹、成田 克¹、齊藤 敦¹、中島 健介¹、末光 眞希² (1.山形大院理工、2.東北大通研)

キーワード：炭化ケイ素、表面粗さ、光学特性