[17p-P10-1~93] 10 Spintronics and Magnetics（Poster）

[17p-P10-38] Anomalous Hall Effect in Mn₃Sn Polycrystalline Thin Film

〇Seungjun Oh¹, Tadashi Morita¹, Tomoki Ikeda², Mikihiko Oogane², Masakiyo Tsunoda², Yasuo Ando² (1.ULVAC, Inc, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:Antiferromagnet, Anomalous Hall Effect

本研究では、スパッタリング法によるMn₃Sn薄膜の作製とその物性評価を行った。成膜には合金ターゲットを用い、室温下で熱酸化膜付Si基板上に100 nm厚のMn₃Sn薄膜を作製した。酸化防止キャップ層として10 nm厚のRu膜を挿入した。作製されたサンプルは真空中で後熱処理を30分間行い、組成、結晶性、ならびに磁気特性の評価を行った。後熱処理によりMn₃SnとRu膜の結晶化が進み、明瞭なヒステリシスを有する異常ホール曲線が観測された。