16:00 〜 18:00
[17p-P10-50] ガラスおよびSi基板上へのコバルトフェライト(001)配向膜の作製と評価
キーワード:コバルトフェライト、有機金属分解法
これまでに、MgO基板上に作製された(001) CFO薄膜は、高い垂直磁気異方性を示すことが報告され注目されている。そこで本研究では有機金属分解法を用いてガラス基板およびSi基板上への(001)配向CFO薄膜の作製を試みた。実験では温度条件を変えて作製し、その磁気特性の評価を行い、最適作製条件を検討した。その結果仮焼成温度が310℃のときに(001)配向が得られることが明らかになった。