[17p-P2-1~10] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[17p-P2-10] Microfabrication of Si based concave micromirror structure by XeF₂ Vapor Etching

〇Akihiro Matsutani¹, Kunio Nishioka¹, Mina Sato¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:etching, Si, XeF2

これまでに，我々はマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いを開発し，大腸菌や酵母の単一細胞分離及びサイズ分離に成功した。この単一細胞分離構造にマイクロ凹面鏡を組み合わせれば，光でトラップする細胞操作機能も加えることが期待できると考えている。今回は，XeF₂気相エッチングによるSiマイクロ凹面鏡の製作を行ったので報告する。