[17p-P2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-P2-10] XeF₂気相エッチングによるSiマイクロ凹面鏡構造の製作

〇松谷 晃宏¹、西岡 國生¹、佐藤 美那¹ (1.東工大マイクロプロセス)

キーワード：エッチング、シリコン、フッ化キセノン

これまでに，我々はマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いを開発し，大腸菌や酵母の単一細胞分離及びサイズ分離に成功した。この単一細胞分離構造にマイクロ凹面鏡を組み合わせれば，光でトラップする細胞操作機能も加えることが期待できると考えている。今回は，XeF₂気相エッチングによるSiマイクロ凹面鏡の製作を行ったので報告する。