[17p-P2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-P2-3] X線および分光学的手法を用いたGaN上の酸化膜および界面状態の評価

〇棚橋 優策¹、熊沢 亮一¹、小川 慎吾¹、安居 麻美¹、村司 雄一¹、関 洋文¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：X線反射率測定、GaN、酸化膜