[17p-P2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-P2-5] MOD法によりSi₃N₄/SiO₂メンブレン上に製作したVO_xマイクロボロメータのDC感度測定

〇(M2)前田 幸平¹、ヴァン ニュ ハイ¹、西岡 國生²、松谷 晃宏²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大、2.東工大マイクロプロセス)

キーワード：ボロメータ、メンブレン、MOD