[17p-P3-1~22] 3.13 半導体光デバイス

[17p-P3-1] キャップ効果による横方向成長を利用した結晶性および表面平坦性に優れた多結晶セレン膜の作製

〇為村 成亨¹、峰尾 圭忠¹、宮川 和典¹、難波 正和¹、大竹 浩¹、久保田 節¹ (1.NHK技研)

キーワード：結晶セレン、酸化ガリウム、イメージセンサ

近年、撮像素子の多画素化に伴う感度低下が問題とされてきた。我々は、結晶セレン膜を回路上に積層し、撮像素子の高感度化を進めている。結晶セレンの結晶性向上には、結晶粒界を低減するために結晶粒を大きくする必要があるが、結晶粒の粗大化で平坦性が失われる問題があった。そこで、低温で結晶化した後ITO膜を成膜し、高温で再加熱することで横方向成長を促し、結晶性・表面平坦性に優れた結晶セレン膜の作製に成功した。