[17p-P3-1~22] 3.13 半導体光デバイス

[17p-P3-17] MEMSグレーティングによる波長掃引型量子カスケードレーザ

〇杉山 厚志¹、秋草 直大¹、枝村 忠孝¹ (1.浜ホト)

キーワード：MEMSグレーティング、量子カスケードレーザ、波長掃引レーザ

コンパクトな波長掃引型量子カスケードレーザを実現するために、MEMSグレーティングの開発を進めている。MEMSグレーティングはグレーティング径5mmφの電磁駆動型とした。Cuダマシンによりコイルを形成し、その上層にナノインプリント法にてブレーズグレーティングを形成した。その共振周波数は1795Hzで、機械傾斜全角は8.7度に達した。これを用いて外部共振器を構成することで、波長8.3から10ミクロンまでの広帯域波長掃引を実現した。