[17p-P4-1~7] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[17p-P4-5] リン酸を添加したフッ化水素酸中のメニスカスエッチングに基づく石英系光ファイバーのテーパー化

〇物部 秀二¹ (1.東洋大理工)

キーワード：光ファイバー、近接場光学顕微鏡、エッチング

有機溶媒を浮かべたフッ化水素酸中のメニスカスエッチングは石英系光ファイバーをテーパー化する方法として知られる．しかし，有機溶媒層に生じる白濁のためテーパー形状の再現性はよくない．発表者は再現性を改善するため，シリコーンオイルを浮かべたHF酸とリン酸の混合液を提案する．得られた結果はエッチング液へのリン酸の添加が再現性向上に効果があることを示す．