[18a-A204-1~10] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[18a-A204-1] Ag細線を包埋したPVDFフレキシブル圧力センサ

〇山宮 慎¹、但木 大介¹、馬 騰²、今井 裕司³、平野 愛弓^1,2、庭野 道夫⁴ (1.東北大通研、2.東北大AIMR、3.仙台高専、4.東北福祉大)

キーワード：PVDF、圧力センサ、フレキシブルデバイス

我々は，PVDF粉末を極性溶媒に溶かした溶液を，塗布・乾燥するという簡便な手法でβ型PVDFフィルムを形成する溶液塗布法を開発した。今回，このPVDF薄膜に金属細線を包埋させた新奇な圧力センサを作製し，微弱な圧力を検出することに成功した。本講演では，この金属細線包埋型圧力センサの構造と応答特性の詳細な解析を行ったので，その結果を報告する。