[18a-A402-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[18a-A402-8] プラズモン応用に向けた金属的及び誘電体的窒化ジルコニウムの作製

〇石井 智¹、長尾 忠昭^1,2 (1.物材機構、2.北大院)

キーワード：プラズモニクス、遷移金属窒化物、ホットキャリア

本発表では、ジルコニウムをターゲットに用いたDCスパッタ中のアルゴンと窒素の流量比を変えることで、誘電率の実部が負と正の窒化ジルコニウムを作り分けることができることを示す。これらの金属と誘電体を使用することで、単一のターゲットからプラズモン構造やホットキャリアエンジニアリングに必要な材料を得られる。