[18a-A402-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[18a-A402-9] 応力センシングのための表面プラズモン励起の歪み場制御

〇松井 裕章¹、田畑 仁¹ (1.東京大工)

キーワード：酸化物半導体、表面プラズモン、応力センシング

近年、試料表面に発生する応力場を、高い空間能を有した幅広い計測視野を持つセンシング技術が要求される。本研究は、表面プラズモン励起の歪み制御に着目し、マクロ的な機械的応力を、ナノ粒子配列の局所的な構造歪みに伴う表面プラズモンの光学変化から明らかにする。本講演は、ナノ粒子薄膜試料の引張り歪みに対するプラズモン共鳴の光学応答と機械的応力との相関を報告し、新規な構造物診断が可能な光計測への発展を目指す。