[18a-B203-1~11] 3.13 Semiconductor optical devices

[18a-B203-7] Fabrication of slow-light beam scanner integrated with a MEMS VCSEL

〇Shunya Inoue¹, Toshihiro Asahi¹, Shun Nishimura¹, Masanori Nakahama¹, Akihiro Matsutani¹, Takahiro Sakaguchi¹, Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:VCSEL, Slowlight waveguide

近年自動車の運転自動化に向けて測距センサーであるLiDARが興味を集めているが，現在主流のミラーの回転による方式ではビーム掃引速度，信頼性，デバイスサイズの点での向上が難しい．本研究室で高解像点数の非機械式ビームスキャンと光増幅機能を実証しているスローライト導波路に波長可変面発光レーザを集積し，作製したデバイスでレーザ発振を得た．またMEMSへ電圧印加を行い，スローライト導波路への結合光の変化を確認した．